特許

J-GLOBAL ID：200903067503263141

照明装置及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 三輪 良則 ,  早田 滋
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-361591
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204114
出願日： 1992年12月29日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 パターン形状の方向や線幅等により最適な照明系を選択して高解像力の投影露光が可能な半導体素子の製造に好適な照明装置及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【構成】 楕円鏡の第1焦点近傍に配置した発光部からの光束で該楕円鏡の第2焦点近傍に該発光部の像を形成し、該発光部の像からの光束でオプティカルインテグレータを介して被照射面を照明する際、該楕円鏡とオプティカルインテグレータとの間に入射光束を所定方向に偏向させる光路中より挿脱可能な光学素子と、該発光部の像を該オプティカルインテグレータの入射面に異った倍率で結像させる結像系と、絞り部材とを配置し、該被照射面上のパターンに応じて該光学素子、結像系、そして絞り部材を選択的に切換えて、該オプティカルインテグレータの射出面に形成される光強度分布を変更して使用するようにしたこと。

請求項（抜粋）：

楕円鏡の第1焦点近傍に発光部を配置し、該発光部からの光束で該楕円鏡を介して該楕円鏡の第2焦点近傍に該発光部の像を形成し、該発光部の像からの光束で複数の微小レンズを2次元的に配列したオプティカルインテグレータを介して被照射面を照明する際、該楕円鏡とオプティカルインテグレータとの間に入射光束を所定方向に偏向させる光路中より挿脱可能な光学素子と、該発光部の像を該オプティカルインテグレータの入射面に異った倍率で切換え可能に結像させる結像系と、該オプティカルインテグレータの入射面又は射出面近傍に挿脱可能な絞り部材とを配置し、該被照射面上のパターンに応じて該光学素子、結像系、そして絞り部材を選択的に切換えて、該オプティカルインテグレータの射出面に形成される光強度分布を変更して使用するようにしたことを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 S