特許

J-GLOBAL ID：200903067504038982

露光データ作成装置及び露光データ作成方法

発明者： 真鍋 康夫
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-235897
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074691
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】 本発明は露光データ作成装置に関し、マトリクス配置された最外郭露光パターン部を単純にデータ展開することなく、ある基準パターンを設けて、該基準パターンに基づいてデータ展開処理をし、その補正処理やデータ処理の高速化を図ることを目的とする。【構成】 露光パターンデータDOUT の作成に係る各種データDIN,D1,D2,D3,DOUT を記憶する記憶手段11と、前記LSI設計データDINを単独配置に係る第1のパターンデータD1とマトリクス配置に係る第2のパターンデータD2とに分類するデータ分類手段12と、前記第1,第2のパターンデータD1,D2を露光装置の単位副偏向領域毎に登録するデータ登録手段13と、前記第1,第2のパターンデータD1,D2を補正する補正手段14と、前記各手段11,12,13及び14の入出力を制御する制御手段15とを具備し、前記制御手段15がマトリクス配置された第2の露光パターン部MPの最外郭露光パターン部MP1〜MPiに基準パターンMRを設定することを含み構成する。

請求項（抜粋）：

単独配置可能な第1の露光パターン部(SP)とマトリクス配置可能な第2の露光パターン部(MP)とを含む被露光パターン(16)に係るLSI設計データ(DIN)に基づいて露光パターンデータ(DOUT )の自動作成をする装置であって、前記露光パターンデータ(DOUT )の作成に係る各種データ(DIN,D1,D2,D3,DOUT )を記憶する記憶手段(11)と、前記LSI設計データ(DIN)を単独配置に係る第1のパターンデータ(D1)とマトリクス配置に係る第2のパターンデータ(D2)とに分類するデータ分類手段(12)と、前記第1,第2のパターンデータ(D1,D2)を露光装置の単位副偏向領域毎に登録するデータ登録手段(13)と、前記第1,第2のパターンデータ(D1,D2)を補正する補正手段(14)と、前記記憶手段(11),データ分類手段(12),データ登録手段(13)及び補正手段(14)の入出力を制御する制御手段(15)とを具備し、前記制御手段(15)がマトリクス配置された第2の露光パターン部(MP)の最外郭露光パターン部(MP1〜MPi)に基準パターン(MR)を設定することを特徴とする露光データ作成装置。

FI (2件)：

H01L 21/30 341 J ,  H01L 21/30 301 G