特許
J-GLOBAL ID:200903067510062593

スペックル干渉装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高梨 幸雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-247248
公開番号(公開出願番号):特開平5-196419
出願日: 1992年08月24日
公開日(公表日): 1993年08月06日
要約:
【要約】【目的】 スペックル干渉縞パターンより高速でしかも高精度に所定の位相情報を選択することができるスペックル干渉装置を得ること。【構成】 光源からの光束を複数の光束に分割し、このうち1つの光束を測定面、他の1つの光束を参照面を介した後に各々重ね合わせてスペックル干渉縞パターンを形成するスペックル干渉装置において、該スペックル干渉縞パターンのうち同位相の領域を抽出する窓を有する空間的なフィルターを光路中に配置し、該フィルターにより同位相のスペックル干渉縞パターンを形成したこと。
請求項(抜粋):
光源からの光束を複数の光束に分割し、このうち1つの光束を測定面、他の1つの光束を参照面を介した後に各々重ね合わせてスペックル干渉縞パターンを形成するスペックル干渉装置において、該スペックル干渉縞パターンのうち同位相の領域を抽出する窓を有する空間的なフィルターを光路中に配置し、該フィルターにより同位相のスペックル干渉縞パターンを形成したことを特徴とするスペックル干渉装置。
IPC (2件):
G01B 11/00 ,  G01B 9/02

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