ウエハダイシング用粘着テープ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：細井貞行 , 長南満輝男 , 石渡英房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-096038
公開番号（公開出願番号）：特開2004-303999
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】水洗によってダイシング屑を容易に低減でき、熱を受けても容易に収縮しない耐熱収縮性と均一な延伸性を備え、しかもダイシング状態を確認し得る高透明性と適度な剛性を有するウエハダイシング用粘着テープを提供すること。【解決手段】ウエハを貼着固定するための粘着剤層が基材フィルム上に設けられたダイシング用粘着テープにおいて、基材フィルムが、5〜30重量%の酢酸ビニル含量を有する1種類以上のエチレン・酢酸ビニル共重合体樹脂60〜95重量%と、結晶化度が20〜40%未満である1種類以上のポリオレフィン系樹脂5〜40重量%の混合物からなる単層のフィルムであること。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ウエハを貼着固定するための粘着剤層が基材フィルム上に設けられたダイシング用粘着テープにおいて、前記基材フィルムが、5〜30重量%の酢酸ビニル含量を有する1種類以上のエチレン・酢酸ビニル共重合体樹脂60〜95重量%と、結晶化度が20〜40%未満である1種類以上のポリオレフィン系樹脂5〜40重量%の混合物からなる単層のフィルムであることを特徴とするダイシング用粘着テープ。

IPC (5件)：

H01L21/301 , B32B27/00 , B32B27/28 , C09J7/02 , C09J201/00

FI (5件)：

H01L21/78 M , B32B27/00 M , B32B27/28 101 , C09J7/02 Z , C09J201/00

Fターム (30件)：

4F100AK03A , 4F100AK03K , 4F100AK07A , 4F100AK07K , 4F100AK25 , 4F100AK51 , 4F100AK64 , 4F100AK68A , 4F100AK68K , 4F100AL05A , 4F100AR00B , 4F100AT00A , 4F100BA02 , 4F100CA30 , 4F100EH46 , 4F100EJ19 , 4F100EJ39 , 4F100EJ55 , 4F100GB41 , 4F100JA11A , 4F100JL02 , 4F100JL05 , 4F100JL13B , 4F100JN01 , 4F100YY00A , 4J004AB01 , 4J004CA04 , 4J004FA05 , 4J040JA09 , 4J040JB09

引用特許：

審査官引用 (1件)

ダイシング用粘着シート
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-252351 出願人：日東電工株式会社

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