電子部品の外観検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-320485
公開番号（公開出願番号）：特開平5-160223
出願日： 1991年12月04日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】本発明は、検査処理速度が速く且つ高精度で、機構の簡単な電子部品の外観検査装置を提供することを目的とする。【構成】 IC3を載置するプリズムブロック13が固定されたベース16内に、光源としてのランプ11と反射鏡12を配置する。ベース16の下方に取付台20を設置し、精密ネジ17が回転軸に取り付けられたパルスモータ18を取付台20に固定する。精密ネジ17はベース16の突設部16aに螺合しベース16を上下移動させる。プリズムブロック13よりの光を受光する部位にCCDラインセンサ14を配設し、画像信号を画像処理装置15に送るよう構成する。

請求項（抜粋）：

光源(1)と、電子部品(3)のリード(4)に該光源(1)からの光を照射する光学系(13)と、該光学系(13)からの光により該リード(4)を撮像する固体撮像装置(14)とにより構成される電子部品の外観検査装置において、前記固体撮像素子(14)としてラインセンサをその走査方向が前記IC(3)が載置される面に対して平行に位置して用いると共に、前記電子部品(3)を該ラインセンサの走査方向に対して垂直に相対的移動を行なわせる移動機構(16a,17,18)を設け、該ラインセンサから得られた撮像信号を組合せて二次元的な画像を得る構成としたことを特徴とする電子部品の外観検査装置。

IPC (5件)：

H01L 21/66 , G01B 11/24 , G01N 21/88 , G06F 15/62 405 , G06F 15/64

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-299706
特開昭63-107034
特開平2-028546

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