特許

J-GLOBAL ID：200903067517498184

顕微鏡等の試料観察手段の自動焦点合わせ装置

発明者： 山部 正樹 ,  吹田 牧夫 ,  北島 弘伸
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 寒川 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-340552
公開番号（公開出願番号）：特開平5-173052
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、顕微鏡等の焦点合わせを短時間で達成することができ、顕微鏡等を製造工程において使用して処理される単位時間当りの材料処理量(スループット)を増大し、生産性を向上することができる顕微鏡等の試料観察手段の自動焦点合わせ装置を提供することを目的とする。【構成】 試料に対接して接近・離隔する光学系と、一方向に延在する方向に移動するスリットを有する集光手段と、接眼レンズの焦点位置に設けられる光電変換式画像取得手段と、試料観察手段を試料に対して接近・離隔する試料観察手段駆動手段と、試料観察手段駆動手段と同期して集光手段を移動する集光手段駆動手段と画像取得手段が経時的に検出する情報を相互に比較し、焦点情報信号を最大強度にする位置を判定して試料観察手段をその位置に固定する焦点合わせ手段とを有する。

請求項（抜粋）：

試料に対接し、前記試料に対して接近・離隔しうる対物レンズを有する光学系(1)と、一方向に延在し、該一方向と直交する方向に移動するスリットを有する集光手段(2)と、前記光学系(1)の接眼レンズの焦点位置に設けられる光電変換式画像取得手段(3)と、前記光学系(1)と前記集光手段(2)と前記光電変換式画像取得手段(3)とを前記試料に対して接近・離隔する試料観察手段駆動手段(5)と、該試料観察手段駆動手段(5)に同期して前記集光手段(2)を、前記スリットと直交する方向に移動する集光手段駆動手段(6)と、前記光電変換式画像取得手段(3)をもって経時的に検出される情報の集合を、相互に経時的に比較して、前記試料の各領域からの焦点情報信号を最大にすることゝなる試料観察手段(1)(2)(3)と前記試料との距離を判定して、前記試料観察手段(1)(2)(3)と前記試料との距離を、前記判定された距離に固定する焦点合わせ手段(7)とを有することを特徴とする顕微鏡等の試料観察手段の自動焦点合わせ装置。

IPC (4件)：

G02B 7/28 ,  G02B 21/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

G02B 7/11 J ,  H01L 21/30 311 N