特許
J-GLOBAL ID：200903067521300127
X線応力測定方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-029876
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295158
出願日： 1999年02月08日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：
【要約】【課題】 表面層に急激な応力勾配を有する材料のX線応力測定を行う場合に、X線入射角による材料表面からのX線到達深さの差異を補正して、応力測定精度の低下を防ぐためのX線応力測定法を提供する。【解決手段】 X線応力測定法は、X線の回折強度曲線からX線の入射角(ψ)に応じた回折角(θ)を求め、該回折角を用いて2θ-Sin2ψ線図を描き、該線図の回帰直線の勾配を用いて応力を算出する測定法において、回折角を求める工程が、実測した回折強度曲線からバックグラウンドを差し引いた回折強度曲線におけるX線入射角に応じて変化させた高さ位置を求め、該高さ位置における前記回折強度曲線の中点を回折角とする工程からなることを特徴とする。被測定材表面からのX線到達深さの差異を補正し、表面層に生じた急激な応力勾配による2θ-Sin2ψ線図におけるゆがみ(理論的直線からのズレ)を防止する。
請求項（抜粋）：
被測定材にX線を照射し、該X線の回折強度曲線を実測し、該回折強度曲線から前記X線の入射角(ψ)に応じた回折角(θ)を求め、該回折角を用いて2θ-Sin2ψ線図を描き、該線図の回帰直線の勾配を求め、該勾配を用いて前記被測定体の応力を算出するX線応力測定方法において、前記回折角を求める工程が、実測した前記回折強度曲線からバックグラウンドを差し引き、該バックグラウンドを差し引いた回折強度曲線における前記X線入射角に応じて変化させた高さ位置を求め、該高さ位置におけるバックグラウンドを差し引きした前記回折強度曲線の中点を前記回折角とする工程からなるX線応力測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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