特許

J-GLOBAL ID：200903067522671676

異物検査装置

発明者： 山本 兼士
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-023998
公開番号（公開出願番号）：特開平7-229845
出願日： 1994年02月22日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】 被検物上の照明領域を光ビームで照明し、その照明領域からの散乱光又は回折光等を用いてその被検物上の異物検査を行う際に、その照明領域内の光ビームの照度むらを低減させる。【構成】 レーザ光源5から射出された光ビームL1は、ビームエクスパンダ8により一方向に断面が引き伸ばされ、ほぼ平行なスリットビームL2となって、アパーチャ板21に入射する。アパーチャ板21の開口21aを通過したスリットビームL4が、フーリエ変換レンズ22、高周波数成分除去用の開口絞り23、及び逆フーリエ変換レンズ24を経てほぼ平行なスリットビームL5として斜めに、レチクル1の表面に入射する。

請求項（抜粋）：

光ビームを供給する光源と、前記光ビームの断面形状を所定形状に伸縮するビーム伸縮光学系と、該ビーム伸縮光学系から射出される光ビームの断面形状を所定形状に整形する視野絞りと、を有し、該視野絞りを通過した光ビームを被検物上に斜めに照射し、該被検物からの光に基づいて該被検物に付着した異物の検査を行う装置において、前記視野絞りと前記被検物との間に、前記視野絞りを通過した光ビームをフーリエ変換するフーリエ変換光学系と、該フーリエ変換光学系によるフーリエ変換面上に配された開口絞りと、該開口絞りを通過した光ビームをほぼ逆フーリエ変換して前記被検物上に斜めに照射する逆フーリエ変換光学系と、を設けたことを特徴とする異物検査装置。