特許
J-GLOBAL ID：200903067525628860
弾性表面波素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 伸泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-141311
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316782
出願日： 1995年05月15日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】 基板1の表面に、ダイヤモンド等の硬質の材料からなる高音速薄膜2と窒化アルミニウム等の圧電体からなる薄膜3とを形成し、該圧電体薄膜3の表面に、弾性表面波を励振させるための電極4を形成した弾性表面波素子に於いて、高音速薄膜が有する本来の性能を引き出することの出来る弾性表面波素子を提供する。【構成】 本発明の弾性表面波素子は、高音速薄膜2と圧電体薄膜3の間に、高音速薄膜2よりも化学的に安定な材料、例えば白金からなる保護膜5を形成する。
請求項（抜粋）：
基板(1)の表面に、硬質の材料からなる高音速薄膜(2)と圧電体からなる薄膜(3)とを形成し、該圧電体薄膜(3)の表面に、弾性表面波を励振させるための電極(4)を形成した弾性表面波素子に於いて、高音速薄膜(2)と圧電体薄膜(3)の間に、高音速薄膜(2)よりも化学的に安定な材料からなる保護膜(5)を形成したことを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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