3端子構造を有する圧電振動子を用いた圧覚及び触覚センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-085546
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270261
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】耐ノイズ性が強く、かつ、分解能が高い、さらに小型化が可能な3端子構造を有する圧電振動子を用いた圧覚及び触覚センサを提供する。【構成】発振回路102が発振している時、電極103a下では逆圧電効果により振動が発生している。電極103b下では電極103cで発生している振動の伝搬による振動が存在し、電極103bにはこの振動が圧電振動となり電荷が発生する。このとき、電極103cから電極103bへの振動伝搬により、3端子圧電振動子103の共振周波数f0 付近の信号以外がフィルタリングされ、除去される。例えば、発振回路102にノイズが入ったとき、出力端子107から出力される信号はΔfの帯域のノイズが入ってくるが、出力端子106から出力される信号はΔfの帯域より狭い帯域の信号を取り出すことができる。

請求項（抜粋）：

対象物に振動子を接触させて、上記振動子の特性変化により上記対象物の粘弾性特性を電気信号として検出する圧覚センサにおいて、上記振動子が圧電振動子であり、上記圧電振動子の一方の面に第1の電極及び第2の電極と他方の面に第3の電極の3つの電極を有し、上記第1の電極及び上記第2の電極のうちのどちらか一方と上記第3の電極の2つの電極を上記圧電振動子の等価回路定数を用いて発振する回路に接続して発振回路を成し、上記第1の電極及び上記第2の電極のうちの上記発振回路を成していない電極を出力端子とすることを特徴とした3端子構造を有する圧電振動子を用いた圧覚センサ。

IPC (6件)：

G01L 1/10 , G01H 13/00 , G01N 11/00 , H01L 41/09 , H03H 9/17 , A61B 1/00 300

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