特許
J-GLOBAL ID:200903067546080652
固体潤滑性を有する複合耐磨耗性硬質皮膜、並びに皮膜付き物品
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
田中 増顕
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-185687
公開番号(公開出願番号):特開2000-001768
出願日: 1998年06月16日
公開日(公表日): 2000年01月07日
要約:
【要約】【目的】 優れた摺動特性と耐磨耗性を兼備した複合皮膜、並びに皮膜付き物品の実用化を目的とし、固体潤滑皮膜と硬質セラミック皮膜の密着性と最外固体潤滑皮膜の耐候性の向上を行うものである。【構成】 周期律表IVa族、Va族、VIa族金属元素及びAl、Si、B、Cから選択される一種以上の元素と、B、C、N、Oから選択される一種以上の元素とによって構成される単層または2種以上の積層化合物皮膜である高硬度皮膜の下地層と、下地層上に、スパッタリング法により製膜される二硫化モリブデンまたは二硫化モリブデンを主成分とする化合物を表面層に備える。表面層である二硫化モリブデンまたは二硫化モリブデンを主成分とする化合物には、下地層との密着性と耐候性を向上させる目的で周期律表IVa族、Va族、VIa族金属元素から選択される一種以上の元素を合計0.5at%以上、10at%以下の範囲で含む。
請求項(抜粋):
周期律表IVa族、Va族、VIa族金属元素及びAl、Si、B、Cから選択される一種以上の元素と、B、C、N、Oから選択される一種以上の元素とによって構成される単層または2種以上の積層化合物皮膜である高硬度皮膜の下地層と、下地層上に、スパッタリング法により製膜される二硫化モリブデンまたは二硫化モリブデンを主成分とする化合物を表面層に備え、表面層である二硫化モリブデンまたは二硫化モリブデンを主成分とする化合物には、周期律表IVa族、Va族、VIa族金属元素から選択される一種以上の元素を合計0.5at%以上、10at%以下の範囲で含むことを特徴とする固体潤滑性を有する複合耐磨耗性硬質皮膜。
IPC (2件):
FI (2件):
C23C 14/06 P
, B32B 9/00 A
Fターム (37件):
4F100AA09C
, 4F100AA12B
, 4F100AA40B
, 4F100AA40K
, 4F100AB12C
, 4F100AT00A
, 4F100BA03
, 4F100BA07
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100BA13
, 4F100EH66C
, 4F100GB51
, 4F100JK09
, 4F100JK12B
, 4F100JK16
, 4F100YY00C
, 4K029BA33
, 4K029BA34
, 4K029BA43
, 4K029BA44
, 4K029BA46
, 4K029BA48
, 4K029BA51
, 4K029BA53
, 4K029BA54
, 4K029BA55
, 4K029BA56
, 4K029BA57
, 4K029BA58
, 4K029BA60
, 4K029BC00
, 4K029BC02
, 4K029BD04
, 4K029BD05
, 4K029CA03
, 4K029CA05
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