特許
J-GLOBAL ID：200903067553132269
3次元形状測定装置の非接触式プローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-171717
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340726
出願日： 1992年06月05日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 測定面の形状を高精度に測定することのできる3次元形状測定装置の非接触式プローブを提供することを目的とする。【構成】 レーザー光源1から光軸移動部2に入射したレーザー光は、光軸移動部2によりその光軸方向に対して垂直方向に移動して出射し、光分離手段3にて測定光9aと参照光10とに分離される。測定光9aは対物光学系4により被検面8に集光し、被検面8からの反射測定光9bが上記光路を逆行し、光分離手段3を通過して干渉光学系5に入射して、前記参照光10と干渉を生じた干渉光11となって出射する。干渉光11の光量を検出器6で検出し、信号処理部7で処理して被検面8の形状を求める。
請求項（抜粋）：
レーザー光源と、前記レーザー光源からの光束を参照光と測定光との2光束に分離する光分離手段と、分離された測定光を被検面へ集光する対物光学系と、被検面からの反射測定光と前記参照光との光路を一致させて干渉させる干渉光学系と、その干渉光を受光して光量を検出する検出部と、検出部の信号より被検面の変位を検出する信号処理部とからなる3次元形状測定装置の非接触式プローブにおいて、前記レーザー光源と前記光分離手段との間に配置され、前記光源からの光束の光軸を、その光軸方向に対して垂直方向に移動させる光軸移動部を具備することを特徴とする3次元形状測定装置の非接触式プローブ。
IPC (2件)：
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