特許

J-GLOBAL ID：200903067558025339

膜厚測定方法

発明者： 岩本 洋次郎
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-197724
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023229
出願日： 1997年07月08日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 透明な面の膜厚を測定する場合に測定精度が高く測定時間が短い測定方法を提供する。【解決手段】 白色光を光源とする干渉縞検出方式の検出器を用いて、ワークの同一位置における干渉縞の第1番目の強度31と第2番目の強度32とを検出し、2つの強度を検出したときの検出器の走査位置の差から、ワークの膜厚hを算出する。

請求項（抜粋）：

ワークの透明な膜厚を測定する方法であつて、白色光を光源とする干渉縞検出方式の検出器によって、ワークの同一位置における干渉縞の第1番目の強度と第2番目の強度とを検出し、前記第1番目の強度を検出したときの前記検出器の走査位置と、前記第2番目の強度を検出したときの前記検出器の走査位置との差から、ワークの膜厚を測定することを特徴とする膜厚測定方法。