特許

J-GLOBAL ID：200903067563314780

光重合可能な乾燥フィルム組成物

発明者： リチャード・トーマス・メイズ
出願人/特許権者： ハーキュリーズ・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-294571
公開番号（公開出願番号）：特開平6-110208
出願日： 1992年11月02日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】フォトレジストとして有用な水性現像可能で光重合可能な乾燥フィルム組成物の提供。【構成】水性現像可能で光重合可能な乾燥フィルム組成物であって、該光重合可能な組成物がヒドロキシル改質塩化ビニル/酢酸ビニルポリマー、カルボキシル基含有フィルム形成性高分子バインダー、フリーラジカル光開始剤、多官能性付加重合可能モノマー、可塑剤、および熱重合禁止剤を含む。

請求項（抜粋）：

水性現像可能で光重合可能な乾燥フィルム組成物であって、該光重合可能な組成物がさらにヒドロキシル改質塩化ビニル/酢酸ビニルポリマーを含むことを特徴とする組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/038 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00 ,  C09D 4/02 PDV