特許
J-GLOBAL ID：200903067571957364
マイクロ波プラズマ発生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
溝上 満好 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-103798
公開番号（公開出願番号）：特開平7-312298
出願日： 1985年10月25日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】 プラズマを全域に均一となるように発生させること。【構成】 マイクロ波発振器1と、マイクロ波発振器1からのマイクロ波を伝送する導波管2と、導波管2に接続された誘電体被覆線路3と、誘電体被覆線路3に対向配置されるマイクロ波導入窓を有する反応器6とを備えたマイクロ波プラズマ発生装置である。誘電体被覆線路3またはマイクロ波導入窓を有する反応器6のすくなくともどちらか一方をマイクロ波の導入側から進行方向に向かって両者間の間隔が小さくなるような傾斜角度調整部材8を備える。
請求項（抜粋）：
マイクロ波発振器と、該マイクロ波発振器からのマイクロ波を伝送する導波管と、該導波管に接続された誘電体被覆線路と、該誘電体被覆線路に対向配置されるマイクロ波導入窓を有する反応器とを備えたマイクロ波プラズマ発生装置において、誘電体被覆線路またはマイクロ波導入窓を有する反応器のすくなくともどちらか一方をマイクロ波の導入側から進行方向に向かって両者間の間隔が小さくなるような傾斜角度調整部材を備えたことを特徴とするマイクロ波プラズマ発生装置。
IPC (2件)：
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