特許

J-GLOBAL ID：200903067575290933

交流型磁気力顕微鏡システム

発明者： アンドレアス・モーザー ,  ディーター・クラウス・ヴェラー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-058595
公開番号（公開出願番号）：特開平11-166937
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 プローブ・ティップに磁界を集中させ、磁界をプローブ・ティップにおいて交番させて、コイルからの漂遊磁界が磁性試料に影響を及ぼすことなくMFMシステムの分解能を改善することができる改良型のAC-MFMシステムおよびAC-MFMプローブを提供すること。【解決手段】 交流型(AC)磁気力顕微鏡(MFM)システムは、システムのカンチレバー50の自由端に一体型コイルを備えた改良型のプローブを組み込んでいる。このプローブは、磁気ヨークの一部分を構成する1対の磁極と、ヨークを通って巻かれたパターン付きの導電性コイル11とを有する。プローブは、一方の磁極に磁気的に結合されそれから延びる磁気表面の層を有するプローブ・ティップ20を含む。

請求項（抜粋）：

磁性試料の表面を走査する交流型磁気力顕微鏡システムであって、試料ホルダと、柔軟なカンチレバーと、カンチレバーの自由端に取り付けられ、プローブ本体と、本体上に形成された1対の磁極と、本体上に形成され磁極間にコイルとしてパターン形成された導電体層と、磁極の一方の端部に取り付けられ、磁性体の表面を有するプローブ・ティップとを含むプローブと、プローブ・コイルに電気的に接続され、プローブ・ティップにおいて交番磁界を発生する交流電源と、試料ホルダをプローブ・ティップに対して移動し、プローブ・ティップが試料ホルダによって保持された磁性試料表面の様々な位置を走査できるようにする走査ステージと、磁性試料の表面のある位置からの磁界を表す信号を発生するカンチレバー振れ検出器とを備え、磁性試料からの磁界とプローブ・ティップにおける交番磁界との相互作用により、カンチレバーが対向する方向に振れるシステム。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01R 33/12

FI (4件)：

G01N 37/00 H ,  G01N 37/00 F ,  G01B 7/34 Z ,  G01R 33/12 Z