特許

J-GLOBAL ID：200903067585877843

小型熱電子真空アーク蒸発源

発明者： 服部 秀三 ,  ギャビット ムサ ,  伊井 亨
出願人/特許権者： 株式会社昭和真空
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-176628
公開番号（公開出願番号）：特開平8-041632
出願日： 1994年07月28日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：

【要約】【目的】 付着強度の大きな金属膜を高速で広範囲に成膜でき、安定したアークプラズマで安定した成膜を行える小型の蒸発源を提供すること、位置と方向を変えて蒸着を行える蒸発源を提供すること【構成】 熱電子ビーム源1から蒸発した蒸発金属材5の蒸気をアークプラズマ化するアークプラズマ化手段を備えた熱電子真空アーク蒸発源に於いて、熱電子ビーム源を、熱陰極7、ウエネルト電極10、該熱陰極の温度を一定に制御するための熱陰極電流源8、ウエネルト電極に熱陰極に対し負の電圧を与える電極電源11で構成し、蒸発金属材供給装置4は熱容量の小さい蒸発金属材を連続的に供給する連続供給機構15を備え、熱電子ビーム源を該供給装置に対し負の高電圧に保ち電子を加速する制御電源12を蒸発金属材の熱容量に応じてプログラムされた速度で電流を上昇させる可変定電流源12dとバラスト負荷12eとで構成した

請求項（抜粋）：

熱電子ビーム源と、蒸発金属材供給装置と、該熱電子ビーム源を該蒸発金属材供給装置に対し負の高電圧に保ち電子を加速する制御電源と、該熱電子ビーム源からの電子ビームの照射により蒸発した該蒸発金属材供給装置の蒸発金属材の蒸気をアークプラズマ化してその一部をイオン化するアークプラズマ化手段を備えた熱電子真空アーク蒸発源に於いて、該熱電子ビーム源を、熱陰極と、ウエネルト電極と、該熱陰極の温度を一定に制御するための熱陰極電流源と、該ウエネルト電極に該熱陰極に対し負の電圧を与える電極電源とで構成し、該蒸発金属材供給装置は熱容量の小さい蒸発金属材を該熱電子ビーム源に接近した位置に連続的に供給する連続供給機構を備え、該制御電源は該蒸発金属材の熱容量に応じてプログラムされた速度で電流を上昇させる可変定電流源とバラスト負荷とで構成してアークプラズマ化機能を兼備することを特徴とする小型熱電子真空アーク蒸発源。