特許
J-GLOBAL ID：200903067586738898

非晶質炭素被覆部材

発明者：
内海 慶春

内海 慶春 について

, 
織田 一彦

織田 一彦 について


出願人/特許権者：
住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016954
公開番号（公開出願番号）：特開2001-316800
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：
【要約】【課題】 密着性が充分な非晶質炭素被膜を被覆した非常に高い面圧下で使用される機械部品や、切削工具、金型を提供する。【解決手段】 非晶質炭素被覆部材の構造を、基材1上に周期律表第IVa 、Va、VIa 、IIIbおよびC以外のIVb 族元素のなかから選ばれた少なくとも1つの元素、またはこれらのなかから選ばれた少なくとも1つの元素の炭化物からなる中間層2が形成され、この中間層2上に非晶質炭素膜3が形成された構造とし、中間層2の厚さを0.5nm 以上10nm未満とする。
請求項（抜粋）：
基材と、その上に形成された中間層、さらにその上に形成された非晶質炭素膜とを備えた非晶質炭素被覆部材であって、中間層が周期律表第IVa 、Va、VIa 、IIIb族元素およびC以外のIVb 族元素の元素群から選ばれた少なくとも1つの元素、またはこの元素群から選ばれた少なくとも1つの元素の炭化物からなり、厚さが0.5nm 以上10nm未満であることを特徴とする非晶質炭素被覆部材。
IPC (3件)：
C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  C23C 16/24
FI (5件)：
C23C 14/06 B ,  C23C 14/06 F ,  C23C 14/06 P ,  B23B 27/14 A ,  C23C 16/24
Fターム (55件)：
3C046FF02 ,  3C046FF03 ,  3C046FF04 ,  3C046FF10 ,  3C046FF11 ,  3C046FF12 ,  3C046FF13 ,  3C046FF17 ,  3C046FF19 ,  3C046FF20 ,  3C046FF25 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA02 ,  4K029BA03 ,  4K029BA07 ,  4K029BA11 ,  4K029BA16 ,  4K029BA17 ,  4K029BA34 ,  4K029BA35 ,  4K029BA54 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD03 ,  4K029BD05 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DD06 ,  4K029EA01 ,  4K030AA10 ,  4K030BA01 ,  4K030BA02 ,  4K030BA06 ,  4K030BA12 ,  4K030BA17 ,  4K030BA18 ,  4K030BA20 ,  4K030BA22 ,  4K030BA27 ,  4K030BA30 ,  4K030BA36 ,  4K030BA38 ,  4K030BA41 ,  4K030BB12 ,  4K030CA02 ,  4K030CA05 ,  4K030FA01 ,  4K030HA01 ,  4K030JA01 ,  4K030JA20 ,  4K030LA21
引用特許：
審査官引用 (7件)
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