特許

J-GLOBAL ID：200903067592626015

光エコー顕微鏡

発明者： 古澤 明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-284701
公開番号（公開出願番号）：特開平6-138027
出願日： 1992年10月22日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】 単純な構成の光エコー顕微鏡を提供する。【構成】 光源手段(A)と、光変調光学系(B)と、光学顕微鏡(C)と、検出器12と、ロックインアンプ13と、電気信号処理装置40と、データ処理装置50と、制御手段30とを有する。光変調光学系(B)は、光分割器2と、光合波器3と、第1の直交反射面6a, 6bと、第2の直交反射面7a, 7bと、図示省略した可動ステージに固定された第1のコーナーキューブ4aと、変位器4bと、位相変調手段5と、コーナーキューブ5aと、圧電素子5bと、交流駆動電源5cとを有する。光学顕微鏡(C)は、半透過鏡10と、光トラップ14と、対物レンズ系11からなる照射光学系とを有する。

請求項（抜粋）：

光エコーにより被検物体を観察する光エコー顕微鏡であって、光を供給するレーザー光源と、該レーザー光源からの光を2光束に分割する光分割器と、該光分割器により分岐された2光束の一方の光路中に配置される光遅延器と、該2光束のうちの一方の光を所定の周波数で位相変調するための位相変調器と、該2光束を合波する光合成器と、該合波された光束を被検物体上に導いて光スポットを形成するための照射光学系と、前記被検物体からの光を検出する光検出器と、前記光検出器の出力信号から前記位相変調器の変調周波数の偶数倍の変調成分を抽出して、遅延時間に応じた光エコーの強度を出力する信号処理手段とを有することを特徴とする光エコー顕微鏡。