特許
J-GLOBAL ID：200903067597343860
光制御素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-039988
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250131
出願日： 1993年03月01日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 所望の動作点を有する光制御素子を提供する。【構成】 光導波路2および3を備えた電気光学効果を有する基板1と、前記基板1の上に形成されたバッファ層10と、前記バッファ層10の上に配置された電極11および12とを具備した光制御素子において、前記基板1の裏面側に、当該基板1に所望の応力を与える応力調整膜13を設ける。
請求項（抜粋）：
少なくとも一本の光導波路を備えた電気光学効果を有する基板と、前記基板の上に形成されたバッファ層と、前記バッファ層の上に配置された電極とを具備した光制御素子において、前記基板の裏面側に、当該基板に応力を与えるための応力調整膜を具備することを特徴とする光制御素子。
引用特許：
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