特許

J-GLOBAL ID：200903067600414200

ガス系の流量制御装置

発明者： 内澤 修 ,  村上 功一 ,  山島 淳
出願人/特許権者： 株式会社本山製作所
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-326470
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064490
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 供給ガス系や排気ガス系の省スペース化を実現でき、また遠隔制御が可能で、兼価に構成でき、チャンバなどの処理部内の圧力回復を連続的に行えるガス系の流量制御装置を提供する。【構成】 分岐流路部(A〜C)と、これら分岐流部(A〜C)に流れる作動ガス圧を独立して設定可能な電磁弁(8、10、12)と、電磁弁(8、10)の作動により流れる各作動ガスを独立に供給可能な切換弁(7)と、切換弁(7)と電磁弁(12)の作動により流れる各作動ガスを独立に供給可能な切換弁(6)と、切換弁(6)の出口部が接続され、分岐流路(A〜C)に流れる各作動ガスに設定されたガス圧の範囲にそれぞれ対応した駆動量を有する駆動部(3a)、及び上記設定されたガス圧の範囲に対応した弁開度を有するように使用ガス又は排気ガスの流量を制御する弁本体部(3b)からなるガス圧作動弁(3)とを備えて構成される。

請求項（抜粋）：

使用ガスの流量を変動させることで前記使用ガスを所定の処理部内に導入し、又は排気ガスの流量を変動させることで所定の処理部内を排気するように構成されたガス系の流量制御装置において、所定流量の作動ガスを分流する第1乃至第3の分岐流路部と、前記第1乃至第3の分岐流部にそれぞれ設けられ、かつ、これら分岐流路部に流れる作動ガス圧を独立して設定可能な第1乃至第3の電磁弁と、前記第1及び第2の電磁弁の作動により流れる各作動ガスを独立に供給可能な第1の切換弁と、前記第1の切換弁と前記第3の電磁弁の作動により流れる各作動ガスを独立に供給可能な第2の切換弁と、前記第2の切換弁の出口部が接続され、前記第1乃至第3の分岐流路に流れる各作動ガスに設定されたガス圧の範囲にそれぞれ対応した駆動量を有する駆動部、及び前記設定されたガス圧の範囲に対応した弁開度を有するように前記使用ガス又は排気ガスの流量を制御する弁本体部からなるガス圧作動弁とを備えたことを特徴とするガス系の流量制御装置。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  G05D 7/06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特公昭49-028874
  
• 特開平2-184333
  
• 特公昭49-028874
  
• 特開平2-184333