表面欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柏木明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-003352
公開番号（公開出願番号）：特開平6-207909
出願日： 1993年01月12日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：

【要約】【目的】欠陥の特徴量を的確に検出して欠陥ランクを分離識別することが可能な表面欠陥検査装置を提供する。【構成】取込まれた画像データに対してマトリックスの演算子を作用させるフィルタ手段aと、このマトリックスのフィルタ特性に相当する信号成分の成分画像を所定の閾値で2値化する2値化手段bと、この2値化された成分画像に対して幾何学処理によりラベル付けを行うラベル付け手段cと、このラベル付けされた画像領域をもとに欠陥存在領域を決定する欠陥存在領域決定手段dと、この欠陥存在領域に相当する検査サンプルの表面から固体撮像素子により撮像して得られた表面輝度分布に相当する画像データをもとに欠陥領域の特徴量を算出する欠陥領域特徴量算出手段eと、この算出された欠陥領域の特徴量を所定の閾値で良否の画像データに分離識別する欠陥領域分離識別手段fとより構成した。

請求項（抜粋）：

検査サンプルの表面を撮像する固体撮像素子と、この撮像された前記検査サンプルの検査画像の表面輝度分布を画像データとして取込むデータ取込み手段と、この取込まれた画像データに対してマトリックスの演算子を作用させるフィルタ手段と、このマトリックスのフィルタ特性に相当する信号成分の成分画像を所定の閾値で2値化する2値化手段と、この2値化された成分画像に対して幾何学処理によりラベル付けを行うラベル付け手段と、このラベル付けされた画像領域をもとに欠陥存在領域を決定する欠陥存在領域決定手段と、この欠陥存在領域に相当する検査サンプルの表面から前記固体撮像素子により撮像して得られた表面輝度分布に相当する画像データをもとに欠陥領域の特徴量を算出する欠陥領域特徴量算出手段と、この算出された欠陥領域の特徴量を所定の閾値で良否の画像データに分離識別する欠陥領域分離識別手段とよりなることを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (6件)：

G01N 21/88 , G01B 11/24 , G01N 21/89 , G06F 15/62 400 , G06F 15/68 320 , G06F 15/70 330

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-075507
特開昭63-075507
特開平4-003271

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