寸法測定方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-401235
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202105
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】装置構成がシンプルで測定が簡単にできる寸法測定方法及び装置を提供する。【解決手段】まず、所定の寸法データが既知のマスタを基準台26に載せ、その高さを測定する。マスタの端面をCCDカメラ34で撮像し、そのCCD上に投影される像の撮像倍率を求める。CCD上に投影されたマスタの内径中心の位置を求める。CCD上におけるマスタの外径中心の位置を求め、その位置を座標中心に設定する。基準台26上にワークを載せ、その高さを測定する。マスタの高さとワークの高さとの差を求め、ワークの中心ズレ量を求めるワークの端面をCCDカメラ34で撮像し、そのCCD上におけるワークの内径中心の位置求める。中心ズレ量及び座標中心の位置に基づいてCCD上におけるワークの外径中心の位置を求める。そして、その求めた外径中心の位置と内径中心の位置とに基づいてワークの内径と外径との偏芯量を求める。

請求項（抜粋）：

外径、内径及び外径中心に対する内径中心の位置からなる所定の寸法データが既知の円筒状のマスタを基準台上に載置し、該マスタの端面を撮像素子で撮像する工程と、前記撮像素子上に投影された前記マスタの画像に基づいて前記撮像素子上に投影される画像の撮像倍率を前記マスタの既知の寸法データから求める工程と、前記撮像素子上に投影された前記マスタの内径部の画像に基づいて前記撮像素子上における前記マスタの内径中心の位置を求める工程と、前記撮像素子上における前記マスタの内径中心の位置、前記撮像倍率及び前記マスタの既知の寸法データに基づいて前記撮像素子上における前記マスタの外径中心の位置を求める工程と、前記基準台上に測定対象の円筒体を載置し、該円筒体とマスタとの高さ差を求め、求めた高さ差と前記マスタの既知の寸法データとに基づいて、前記マスタの外径中心からの前記円筒体の外径中心のズレ量を求める工程と、前記基準台上に載置された前記円筒体の端面を前記撮像素子で撮像する工程と、前記撮像素子上に投影された前記円筒体の内径部の画像に基づいて前記撮像素子上における前記円筒体の内径中心の位置を求める工程と、前記撮像素子上における前記マスタの外径中心の位置と、前記ズレ量とに基づいて前記撮像素子上における前記円筒体の外径中心の位置を求める工程と、前記円筒体の内径中心の位置と外径中心の位置とに基づいて前記円筒体の内径と外径との偏芯量を求める工程と、からなることを特徴とする寸法測定方法。

IPC (8件)：

G01B 11/00 , G01B 11/08 , G01B 11/12 , G01B 21/00 , G01B 21/14 , G06T 1/00 300 , G06T 7/60 150 , G06T 7/60 180

FI (8件)：

G01B 11/00 D , G01B 11/08 H , G01B 11/12 H , G01B 21/00 F , G01B 21/14 , G06T 1/00 300 , G06T 7/60 150 C , G06T 7/60 180 B

Fターム (48件)：

2F065AA11 , 2F065AA24 , 2F065AA26 , 2F065AA27 , 2F065BB06 , 2F065CC00 , 2F065EE07 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF61 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065QQ13 , 2F065QQ42 , 2F065UU04 , 2F065UU05 , 2F069AA21 , 2F069AA39 , 2F069AA40 , 2F069AA42 , 2F069BB40 , 2F069CC02 , 2F069CC05 , 2F069DD21 , 2F069DD25 , 2F069DD27 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG72 , 2F069GG74 , 2F069HH30 , 2F069MM02 , 2F069NN26 , 2F069PP02 , 5B057AA01 , 5B057BA02 , 5B057BA17 , 5B057DA08 , 5B057DB02 , 5B057DC03 , 5B057DC06 , 5L096BA03 , 5L096CA02 , 5L096DA02 , 5L096FA62 , 5L096FA64 , 5L096HA07 , 5L096KA15

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