特許
J-GLOBAL ID：200903067614594473
耐摩耗性に優れた表面被覆部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-005099
公開番号（公開出願番号）：特開平7-205361
出願日： 1994年01月21日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【目的】 母材表面にPVD法で母材の特性を維持しながら形成でき、しかも、耐摩耗性だけでなく靱性も兼ね備えている硬質被膜を持ち、切削工具などとして使用するのに好適な表面被覆部材を提供する。【構成】 母材に設ける硬質被膜を、IVa、Va、VIa族金属元素或いはAl、Siの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、ホウ化物の中から選んだ1つ以上の化合物と、IVA、VA、VIA族金属元素およびAl、Siのうちの2種の金属元素の合金の窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物及び/若しくはホウ化物を積層周期0.4nm〜50nmで積層し、全体の膜厚を0.5〜10μmとした構造の膜にした。この被膜は、合金の化合物層を含んでいるので、優れた耐摩耗性及び靱性を示す。
請求項（抜粋）：
IVa、Va、VIa族金属元素或いはAl、Siの窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物、ホウ化物の中から選んだ1つ以上の化合物と、IVa、Va、VIa族金属元素およびAl、Siのうちの2種の金属元素の合金の窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物及び/若しくはホウ化物を積層周期0.4nm〜50nmで積層し、全体の膜厚を0.5〜10μmとした構成の硬質被膜を母材表面にもつことを特徴とする耐摩耗性に優れた表面被覆部材。
IPC (7件)：
B32B 9/00
, B23B 27/14
, B32B 15/04
, B32B 18/00
, C23C 14/06
, C23C 14/08
, C23C 14/18
