接着シートならびに半導体装置およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-229799
公開番号（公開出願番号）：特開2003-041210
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】ダイシング工程ではダイシングテープとして作用し、半導体素子と支持部材との接合工程では接続信頼性に優れる接着シートを提供し、さらに、半導体装置の製造工程を簡略化できる製造方法を提供する。【解決手段】エポキシ樹脂、下記一般式(I)【化1】で表される繰り返し単位を有する変性ポリアミドイミド樹脂、放射線重合性化合物を含む粘接着剤層と、基材層とを備えたことを特徴とする熱重合性及び放射線重合性接着シート。

請求項（抜粋）：

(A)エポキシ樹脂、(B)下記一般式(I)【化1】(式中、複数個のRは、それぞれ独立に炭素数1〜18のアルキレン基を示し、複数個のXは、それぞれ独立に炭素数1〜18のアルキレン基又はアリーレン基を示し、m及びnは、それぞれ独立に1〜20の整数を示し、Yは三価の有機基を示す)で表される繰り返し単位を有する変性ポリアミドイミド樹脂、(C)放射線重合性化合物を含む粘接着剤層と、基材層とを備えたことを特徴とする熱重合性及び放射線重合性接着シート。

IPC (10件)：

C09J 7/02 , C08G 18/40 , C08G 18/44 , C08G 18/76 , C08G 73/14 , C09J 4/00 , C09J163/00 , C09J179/08 , H01L 21/301 , H01L 21/52

FI (10件)：

C09J 7/02 Z , C08G 18/40 , C08G 18/44 Z , C08G 18/76 Z , C08G 73/14 , C09J 4/00 , C09J163/00 , C09J179/08 B , H01L 21/52 E , H01L 21/78 M

Fターム (103件)：

4J004AA11 , 4J004AA13 , 4J004AA17 , 4J004AB05 , 4J004AB06 , 4J004FA05 , 4J034BA08 , 4J034CA25 , 4J034CB02 , 4J034CB04 , 4J034CB05 , 4J034CB07 , 4J034CC03 , 4J034CC12 , 4J034CC22 , 4J034CC33 , 4J034CC54 , 4J034CC61 , 4J034CC65 , 4J034CC66 , 4J034CC67 , 4J034CC68 , 4J034CC69 , 4J034CD04 , 4J034CD05 , 4J034CD06 , 4J034CD09 , 4J034CD12 , 4J034DA05 , 4J034DB04 , 4J034DB07 , 4J034DF02 , 4J034HA01 , 4J034HA07 , 4J034HC03 , 4J034HC08 , 4J034HC12 , 4J034HC13 , 4J034HC46 , 4J034HC52 , 4J034HC64 , 4J034HC65 , 4J034HC67 , 4J034HC70 , 4J034HC71 , 4J034HC73 , 4J034RA08 , 4J034RA14 , 4J040EC001 , 4J040EH032 , 4J040FA132 , 4J040JA09 , 4J040JB02 , 4J040JB07 , 4J040NA20 , 4J043PA01 , 4J043RA05 , 4J043RA34 , 4J043SA11 , 4J043SA43 , 4J043SA72 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA11 , 4J043TA13 , 4J043TA14 , 4J043TA21 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA041 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA151 , 4J043UA261 , 4J043UA662 , 4J043UA672 , 4J043UA761 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB152 , 4J043UB302 , 4J043UB401 , 4J043VA011 , 4J043VA021 , 4J043VA031 , 4J043VA041 , 4J043VA051 , 4J043VA061 , 4J043VA081 , 4J043WA02 , 4J043WA04 , 4J043WA22 , 4J043ZB01 , 5F047BA21 , 5F047BA34 , 5F047BA39 , 5F047BB03 , 5F047BB19

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