特許

J-GLOBAL ID：200903067623716450

基板ホルダー保持装置

発明者： 山村 和市 ,  横田 明義 ,  江島 正毅 ,  吉田 郁男 ,  清水 佳昌 ,  小林 利美
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-098419
公開番号（公開出願番号）：特開平8-297869
出願日： 1995年04月24日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 真空処理装置の繰り返し作動の経時変化により生じた基板ホルダーの中心とマスクの中心とのずれを吸収して、スムースな勘合を可能とし、繰り返し作動の信頼性を確保・向上させる基板ホルダー保持装置を得る。【構成】 真空下で円盤状の基板に成膜を行うにあたり、基板ホルダーと成膜領域を遮断するマスクとにより該基板を挟み込んで固定するための基板ホルダーを備え、基板ホルダーへ基板とマスクの着脱操作を基板中心の軸方向の前後移動だけで行なうことよりなる基板ホルダー保持装置において、前記基板ホルダーは回転移動を行う搬送台に複数の引っ張りバネのみにより掛止され、かつ、該搬送台の貫通孔を介して前記基板ホルダーに密着し得る前後移動可能な突き出しバネを設けたことを特徴とする基板ホルダー保持装置。

請求項（抜粋）：

真空下で円盤状の基板に成膜を行うにあたり、基板ホルダーと成膜領域を遮断するマスクとにより該基板を挟み込んで固定するための基板ホルダーを備え、基板ホルダーへ基板とマスクの着脱操作を基板中心の軸方向の前後移動だけで行なうことよりなる基板ホルダー保持装置において、前記基板ホルダーは回転移動を行う搬送台に複数の引っ張りバネのみにより掛止され、かつ、該搬送台の貫通孔を介して前記基板ホルダーに密着し得る前後移動可能な突き出しバネを設けたことを特徴とする基板ホルダー保持装置。