特許
J-GLOBAL ID：200903067631262867
インクジェットヘッド及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-239457
公開番号（公開出願番号）：特開平10-086362
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：
【要約】【課題】 インクジェットヘッド及びその製造方法において、加工寸法精度に優れ、かつ、幅広い材料を使用することができる振動板及び圧力室の製作プロセスと、機械的特性に優れた振動板材料と、工程が簡便で製造コストの安い製作プロセスを提供する。【解決手段】 プラズマCVD装置の下部電極2上に基体3を載置する。原料ガスとして炭化水素ガスを用い、気相合成方法により基体3上に振動板膜を形成する。このようにして、基体3上に振動板膜を形成し、その一部を振動板として基体3にインク流路を形成する。この振動板を振動させてインクを吐出する。
請求項（抜粋）：
基体上に気相合成法により振動板を形成する工程を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
