特許

J-GLOBAL ID：200903067632002800

感光性樹脂組成物

発明者： 萩尾 滋 ,  孝田 和彦 ,  上原 真一
出願人/特許権者： サンノプコ株式会社
代理人 (1件)： 船越 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262704
公開番号（公開出願番号）：特開平6-095379
出願日： 1991年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：

【要約】【目的】 アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマーとエポキシ化合物と潜在的硬化剤を用いることにより、アルカリ性水溶液による現像性を有し、かつ、感度、解像度、耐無電解めっき液性に優れた感光性樹脂組成物を得ることができる。【構成】 アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマーとエポキシ化合物と潜在的硬化剤、エチレン性不飽和化合物、光重合開始剤からなる感光性樹脂組成物である。

請求項（抜粋）：

A.アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマー、B.少なくとも2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物、C.少なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有し、光重合開始剤により重合体の形成が可能な常温で液体または固体のエチレン性不飽和化合物、D.光重合開始剤、および、E.三フッ化ホウ素アミン錯体、ジシアンジアミド、有機酸ヒドラジッド、ジアミノマレオニトリル類、メラミン類、下記一般式化1で表わされるアミンイミド、アミンと有機酸またはフェノール類との塩、および、ケチミンより選ばれる少なくとも1種のエポキシ硬化剤からなる感光性樹脂組成物。【化1】(ただし、R1 、R4 は炭素原子数1〜6の脂肪族炭化水素またはエーテル結合を有する炭素原子数1〜6の脂肪族炭化水素、R2 、R3 は炭素原子数1〜6の脂肪族炭化水素を表す。)

IPC (11件)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/032 501 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 505 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/18 ,  H05K 3/28