インクジェットプリントヘッド及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-389811
公開番号（公開出願番号）：特開2003-182077
出願日： 2001年12月21日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】液滴のばらつきが少なく長期信頼性に優れた高密度のインクジェットヘッドを提供することを課題とする。【解決手段】隔壁によって仕切られた複数の圧力室と、これらの圧力室の一面を封止する振動板と、前記振動板の外側に前記圧力室に対応して配置される島状突起物と、前記島状突起物に対応して配置される圧力発生素子と、前記圧力発生素子に対応して配置されるノズルを有するノズルプレートと、から構成されるインクイジェットプリントヘッドにおいて、前記島状突起物が酸化シリコン層の両面に単結晶シリコンを有するSOI基板の一方の単結晶シリコン面を貫通して形成し、他方の単結晶シリコン面に前記島状突起物に対応した位置に前記圧力室がシリコン面を貫通して構成した。

請求項（抜粋）：

隔壁によって仕切られた複数の圧力室と、これらの圧力室の一面を封止する振動板と、前記振動板の外側に前記圧力室に対応して配置される島状突起物と、前記島状突起物に対応して配置される圧力発生素子と、前記圧力発生素子に対応して配置されるノズルを有するノズルプレートと、から構成されるインクイジェットプリントヘッドにおいて、前記島状突起物が酸化シリコン層の両面に単結晶シリコンを有するSOI基板の一方の単結晶シリコン面を貫通して形成し、他方の単結晶シリコン面に前記島状突起物に対応した位置に前記圧力室がシリコン面を貫通して構成したことを特徴とするインクジェットプリントヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

Fターム (8件)：

2C057AF42 , 2C057AG12 , 2C057AG44 , 2C057AP28 , 2C057AP32 , 2C057AP34 , 2C057AP52 , 2C057AQ02

引用特許：

審査官引用 (1件)

インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-290507 出願人：セイコーエプソン株式会社

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