特許
J-GLOBAL ID：200903067636455590
真空用ゲートバルブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-084958
公開番号（公開出願番号）：特開平7-293744
出願日： 1994年04月22日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 本発明は真空用ゲートバルブに関し、特に、塵等のシール材への付着を防止することを目的とする。【構成】 本発明による真空用ゲートバルブは、開口(10)を上部側に位置させ、駆動手段(18)を下側に位置させた状態で用い、シールプレート(7)を開口(10)から収納空間(9)内に収納した場合には、この開口(10)の溝部(5)との連通部(5A)をダストカバー(12)で閉状態とし、開口(10)を通過する搬送物からの塵等がシールプレート(7)のシール材(8)に付着することを防止する構成である。
請求項（抜粋）：
弁座(2)を内蔵した弁箱(1)と、前記弁箱(1)の上部に前記弁座(2)とともに貫通して形成された開口(10)と、前記弁箱(1)の下端(1b)から中間部(1aB)まで形成され前記下端(1b)をボンネットフランジ(3)で覆われた収納空間(9)と、前記弁座(2)の下部に形成され前記開口(10)を横断してその横断長さを徐々に拡大しつつ前記開口(10)から前記収納空間(9)へ連通する溝部(5)と、前記開口(10)及び前記溝部(5)に形成されたシール面(4)と、前記シール面(4)に対応するシール材(8)を有して前記収納空間(9)に収納され前記溝部(5)を通過して前記開口(10)に出没するシールプレート(7)と、前記ボンネットフランジ(3)の下部に設けられた駆動手段(18)と、前記駆動手段(18)に設けられて気密状態で前記シールプレート(7)に接続され前記シールプレート(7)を往復動させるためのロッド(6)と、から構成された真空用ゲートバルブにおいて、前記開口(10)内面の前記溝部(5)との連通部(5A)にダストカバー(12)が開閉自在に設けられたことを特徴とする真空用ゲートバルブ。
IPC (2件)：
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