特許
J-GLOBAL ID：200903067644403826
電子デバイス検査システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-208809
公開番号（公開出願番号）：特開平10-107103
出願日： 1989年07月12日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【課題】本発明は、処理効率を向上させる電子デバイス検査システムを提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、前記目的を達成するために、電子デバイスとなるワークを検査する第一、第二の検査装置と、該第一の検査装置が検査して得た情報を受信する第一の処理装置と、該第二の検査装置が検査して得た情報を受信する第二の処理装置とを備えた電子デバイス検査システムであって、該第一、第二の検査装置が該ワークを検査して得た情報を該ワークを検査した後で送信するものである。
請求項（抜粋）：
電子デバイスとなるワークを検査する第一、第二の検査装置と、該第一の検査装置が検査して得た情報を受信する第一の処理装置と、該第二の検査装置が検査して得た情報を受信する第二の処理装置とを備えた電子デバイス検査システムであって、該第一、第二の検査装置が該ワークを検査して得た情報を該ワークを検査した後で送信することを特徴とする電子デバイス検査システム。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01N 21/88
, G01R 31/00
, G01R 31/26
H01L 21/66 J
, H01L 21/66 L
, H01L 21/66 Z
, G01N 21/88 E
, G01R 31/00
, G01R 31/26 Z
