特許

J-GLOBAL ID：200903067650676192

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 湯浅 仁士 ,  窪田 進 ,  榎本 正美 ,  大月 裕
出願人/特許権者： 日本石油株式会社
代理人 (1件)： 酒井 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-130553
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333843
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【構成】(A)キノンジアジド化合物と、(B)(B-1)式化1(R:C4〜15の2価飽和炭化水素基、A:フェノール性水酸基を有するC6〜12の1価、2価芳香族基、n:0〜10、Rの同一炭素上に2個以上のAは結合しない。)で示すポリフェノール類(I),【化1】(B-2)ポリフェノール類(I)及びC1〜12アルデヒド類及び/又はケトン類を縮合させたポリフェノール類(II),(B-3)ポリフェノール類(I)及びC1〜12フェノール類の混合物及びC1〜12アルデヒド類及び/又はケトン類を縮合させたポリフェノール類(III)又はこれらの混合物とを含むポジ型感光性樹脂組成物。【効果】前記ポジ型感光性樹脂組成物は、優れた耐熱性等を有し、ポジ型レジストとして用いた場合、現像時の残膜率及びγ値に優れ、高解像度、高感度、且つ優れた形状のプロファイル等の全てを備えている。

請求項（抜粋）：

(A)キノンジアジド化合物と、(B)下記(B-1)、(B-2)、(B-3)及びこれらの混合物からなる群より選択されるポリフェノール類とを必須成分として含むポジ型感光性樹脂組成物。(B-1)下記一般式化1(式中、Rは炭素数4〜15の2価の飽和炭化水素基を示し、Aはフェノール性水酸基を少なくとも1個有する炭素数6〜12の1価又は2価の芳香族基を示す。またnは0〜10の整数を示す。但し、Rの同一炭素上に2個以上のAは結合しない。)で表わされるポリフェノール類(I)、【化1】(B-2)前記ポリフェノール類(I)と、炭素数1〜12のアルデヒド類及び/又はケトン類とを縮合させて得られるポリフェノール類(II)、(B-3)前記ポリフェノール類(I)及び炭素数1〜12のフェノール類の混合物と、炭素数1〜12のアルデヒド類及び/又はケトン類とを縮合させて得られるポリフェノール類(III)。

IPC (5件)：

G03F 7/023 511 ,  C08L 61/06 LNF ,  G03F 7/00 502 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00