特許
J-GLOBAL ID：200903067652048580
成形金型クリーニング用シートおよびそれを用いた半導体装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-029053
公開番号（公開出願番号）：特開2002-225040
出願日： 2001年02月06日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：
【要約】【課題】 成形金型のクリーニング作業の時間短縮化およびモールド不良の低減化を図って製造性を向上させる。【解決手段】 成形金型18の合わせ面26を覆うクリーニング用シート本体17bと、これに接合されたマスクシート17cとを有するクリーニング用シート17を準備し、第2金型4の合わせ面26に開口する吸引孔11をマスクシート17cによって覆ってクリーニング用シート17を合わせ面26に配置した後、第1金型3および第2金型4によってクリーニング用シート17をクランプし、クリーニング用樹脂25をキャビティ6に供給してキャビティ6内にクリーニング用樹脂25を充填させ、クリーニング用樹脂25硬化後、クリーニング用樹脂25およびクリーニング用シート17を離型することにより、クリーニング用樹脂25を吸引孔11に詰まらせることなく成形金型18のクリーニングができる。
請求項（抜粋）：
一対の第1金型と第2金型とからなる成形金型の前記第1金型と前記第2金型との間に配置して前記成形金型の内部をクリーニングする成形金型クリーニング用シートであって、前記第1金型と前記第2金型との間に配置された際に前記成形金型の合わせ面を覆うクリーニング用シート本体と、前記クリーニング用シート本体に接合され、前記第1または第2金型の何れか一方の前記合わせ面に開口する真空吸引用の吸引孔を覆うマスクシートとを有することを特徴とする成形金型クリーニング用シート。
IPC (3件)：
B29C 33/72
, B29C 45/26
, B29L 31:34
B29C 33/72
, B29C 45/26
, B29L 31:34
4F202AH37
, 4F202CA12
, 4F202CB01
, 4F202CK06
, 4F202CM72
, 4F202CS02
