加工量測定装置及びこれを用いたイオンビームエッチング装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-309288
公開番号（公開出願番号）：特開2002-113353
出願日： 2000年10月04日
公開日（公表日）： 2002年04月16日
要約：

【要約】【課題】ドライエッチング装置において高精度でありながら廉価で簡便な加工量の測定装置およびその場測定装置、およびこれを用いた加工量の制御が可能なドライエッチング装置を提供する。【解決手段】ドライエッチング装置、好ましくはイオンビームエッチング装置、スパッタエッチング装置、イオンミリング装置において該加工装置に加速電極電流、減速電極電流、加速電極電圧、減速電極電圧、シャッター開閉信号、その他の加工条件を検出する検出装置を設置し、加速電極電流、減速電極電流、加速電極電圧、減速電極電圧、シャッター開閉状態等の加工条件の変化から被加工物のエッチング量を直接測定するのではなく、上記の測定値から推定し表示する。その後、必要が有れば、設定加工量になった所で加工装置を自動停止させる。

請求項（抜粋）：

ドライエッチング、好ましくはイオンビームエッチング、スパッタエッチング、イオンミリングにおいて、少なくとも、該加工装置の加速電極に流れる電流を測定する装置と、少なくとも上記加工条件の四則演算及び時間的積算値を計算出来る演算装置と、表示装置、入力装置を備えたことを特徴とする加工量測定装置。

IPC (3件)：

B01J 19/00 , C23F 4/00 , G11B 5/60

FI (3件)：

B01J 19/00 Z , C23F 4/00 A , G11B 5/60 Y

Fターム (19件)：

4G075AA30 , 4G075AA61 , 4G075BC06 , 4G075BD01 , 4G075CA39 , 4G075CA42 , 4G075CA47 , 4G075CA63 , 4G075DA02 , 4G075EB01 , 4G075EB41 , 4G075EC21 , 4K057DA11 , 4K057DA14 , 4K057DD02 , 4K057DD04 , 4K057DJ10 , 4K057DM40 , 5D042RA02

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