特許

J-GLOBAL ID：200903067663920017

基板のプラズマクリーニング装置

発明者： 松木 敏浩
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-327824
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150616
出願日： 1998年11月18日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】 プラズマクリーニング済の基板を容易に識別することができる基板のプラズマクリーニング装置を提供することを目的とする。【解決手段】 基板1を搬入してこの基板表面のプラズマクリーニングを行う真空チャンバ11と、プラズマクリーニング後の基板1を真空チャンバ11から搬出する搬送爪50aを備えたプラズマクリーニング装置において、搬送爪50aによる基板1の搬出経路においてプラズマクリーニング後の基板1に、マーキングユニット71のペン75によって線状のマークをを印加する。これにより、クリーニング処理済の基板に漏れなくマークが印加され、後工程での識別を確実に行うことができる。

請求項（抜粋）：

基板を搬入してこの基板表面のプラズマクリーニングを行う真空チャンバと、この真空チャンバ内へ基板を搬入する搬入手段と、プラズマクリーニング後の基板を前記真空チャンバから搬出する搬出手段と、この搬出手段による基板の搬出経路においてプラズマクリーニング後の基板にマークを印加するマーキング手段とを備えたことを特徴とする基板のプラズマクリーニング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  C23F 4/00 Z ,  H01L 21/302 N

Fターム (27件)：

4K057DA01 ,  4K057DD01 ,  4K057DM03 ,  4K057DM36 ,  4K057DM40 ,  4K057DN01 ,  5F004AA13 ,  5F004AA14 ,  5F004BA04 ,  5F004BB20 ,  5F004BB21 ,  5F004BC06 ,  5F004BD03 ,  5F004EA30 ,  5F004EA33 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA51 ,  5F031GA52 ,  5F031JA50 ,  5F031LA07 ,  5F031LA13 ,  5F031MA23 ,  5F031NA05