特許

J-GLOBAL ID：200903067671089297

3次元測定機の測定誤差評価方法及び3次元測定機用ゲージ

発明者： 松田 次郎 ,  浅沼 進 ,  柴田 政典
出願人/特許権者： 経済産業省産業技術総合研究所長 ,  株式会社浅沼技研 ,  松田 次郎
代理人 (2件)： 秋田 修 (外1名) ,  秋田 修 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-150924
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330428
出願日： 2000年05月23日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 3次元測定機の各機械軸の真直度や機械軸間の直角度の誤差評価を容易且つ高精度に行うことができる測定誤差評価方法を提供する。【解決手段】 仮想基準平面内で基準軸に対し傾斜した直線上に中心が配列された複数個の球体11を有する3次元測定機用ゲージ1を3次元測定機2の測定テーブル3上にセッティングし、基準軸方向を一つの座標軸方向とした直角座標系を仮想基準平面上に設定して、この座標系における各球体11の中心位置を3次元測定機で2測定し、次に、3次元測定機用ゲージ1を基準軸回りに180度反転させて測定テーブル3上に再度セッティングして基準軸方向を一つの座標軸方向とした直角座標系を仮想基準平面上に設定し直し、この座標系における各球体11の中心位置を同様に測定する。

請求項（抜粋）：

プローブ先端が3つの互いに直交する機械軸に沿って被測定物に対して相対移動するように構成された3次元測定機の測定誤差評価方法であって、仮想基準平面内に設定される基準軸に対して、前記仮想基準平面内で傾斜した直線上に中心を並べて配列された複数個の球体を有する3次元測定機用ゲージを、前記基準軸が3次元測定機の一つ機械軸方向に平行で、且つ、前記仮想基準平面が残りの2つの機械軸の何れかと平行になるように3次元測定機の測定テーブル上にセッティングする第1の手順と、前記基準軸の方向を一つの座標軸の方向とした直角座標系を前記仮想基準平面上に設定し、この座標系に対する各球体の中心位置を3次元測定機により測定する第2の手順と、3次元測定機用ゲージを前記基準軸回りに180度反転させて3次元測定機の測定テーブル上に再度セッティングする第3の手順と、前記基準軸の方向を一つの座標軸の方向とする直角座標系を前記仮想基準平面上に設定し、この座標系に対する各球体の中心位置を3次元測定機により測定する第4の手順とを順次行うことを特徴とする3次元測定機の誤差評価方法。

IPC (4件)：

G01B 21/20 101 ,  G01B 21/00 ,  G01B 21/22 ,  G01B 21/30 101

FI (4件)：

G01B 21/20 101 Z ,  G01B 21/00 F ,  G01B 21/22 ,  G01B 21/30 101 F

Fターム (19件)：

2F069AA04 ,  2F069AA13 ,  2F069AA55 ,  2F069AA66 ,  2F069AA72 ,  2F069DD30 ,  2F069FF07 ,  2F069GG01 ,  2F069GG33 ,  2F069GG65 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL02 ,  2F069MM02 ,  2F069NN09 ,  2F069NN17 ,  2F069NN25 ,  2F069NN26 ,  2F069RR03