電荷検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338941
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178791
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】室温でも素電荷以下の微小な外部電荷を検出できる実用性の高い電荷検出装置を提供すること【解決手段】シリコン基板11の表面の微小な凹部12内にクーロン相互作用する微粒子13,14,15を配置し、外部電荷により微粒子13の電荷量が変化することにより生じる微粒子13と微粒子14との間の距離r1 の変化をSTMの光プローブ19により測定することにより、外部電荷を検出する。

請求項（抜粋）：

クーロン相互作用するとともに、このクーロン相互作用の大きさにより距離が変化する第1および第2の部材を有し、外部電荷により前記第1の部材の電荷量が変化することにより生じる物理的性質の変化を直接または間接的に測定することにより、前記外部電荷を検出することを特徴とする電荷検出装置。

IPC (3件)：

G01R 29/24 , G01R 31/302 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 29/24 J , H01L 21/66 B , H01L 21/66 L , G01R 31/28 L

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