特許

J-GLOBAL ID：200903067672911845

基板処理装置の処理液吐出ノズル

発明者： 村岡 祐介
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-249202
公開番号（公開出願番号）：特開2000-061362
出願日： 1998年08月18日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】 処理液吐出ノズル内における気泡の蓄積を防止することにより、処理液に十分な超音波振動が付与可能であり、また、超音波発振子の損傷を防止することができる基板処理装置の処理液吐出ノズルを提供することを目的とする。【解決手段】 処理液吐出ノズル1は、処理液を一時的に貯留する処理液貯留部42とこの処理液貯留部42の下方に形成された処理液吐出口47とを有するノズル本体43と、処理液貯留部42内の処理液に対して超音波振動を付与するための超音波発振子41と、処理液吐出口47よりも小さい開口部46を有することにより処理液貯留部42内の処理液に圧力を付与する差圧付与部45と、処理液貯留部42内に存在する気泡を処理液貯留部42から外部に排出するための超音波発振子41に形成された気泡排出孔44とを備える。

請求項（抜粋）：

基板に対して超音波振動が付与された処理液を供給するための基板処理装置の処理液吐出ノズルであって、処理液を一時的に貯留する処理液貯留部と、この処理液貯留部の下方に形成された処理液吐出口とを有するノズル本体と、前記処理液貯留部内の処理液に対して超音波振動を付与する超音波発振子と、前記処理液吐出口よりも小さいオリフィスを有することにより前記処理液貯留部内の処理液に圧力を付与する、前記処理液貯留部と前記処理液吐出口との間に配設された差圧付与部と、前記処理液貯留部内に存在する気泡を前記処理液貯留部から外部に排出するための気泡排出孔と、を備えたことを特徴とする基板処理装置の処理液吐出ノズル。

IPC (5件)：

B05B 1/00 ,  B05C 11/08 ,  H01L 21/304 643 ,  B08B 3/02 ,  G03F 7/30 501

FI (5件)：

B05B 1/00 Z ,  B05C 11/08 ,  H01L 21/304 643 D ,  B08B 3/02 G ,  G03F 7/30 501

Fターム (31件)：

2H096AA25 ,  2H096CA14 ,  2H096GA31 ,  2H096LA30 ,  3B201AA03 ,  3B201AB02 ,  3B201AB34 ,  3B201AB47 ,  3B201BB44 ,  3B201BB53 ,  3B201BB82 ,  3B201BB85 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CB12 ,  3B201CC01 ,  3B201CC13 ,  3B201CD22 ,  4F033AA04 ,  4F033AA14 ,  4F033BA03 ,  4F033CA01 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  4F042AA07 ,  4F042CA01 ,  4F042CA07 ,  4F042CB03 ,  4F042CB10 ,  4F042DA01 ,  4F042DB39