感光性樹脂組成物、その組成物を用いたパターン形成方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-290840
公開番号（公開出願番号）：特開平9-134014
出願日： 1995年11月09日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】【課題】高感度で、高膜厚加工可能な、水溶剤系ポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】カルボキシル基を有する高分子、又は、塩基触媒反応により分解する基で保護されたカルボキシル基又は水酸基を有する高分子と、電磁波の照射により塩基を発生する光塩基発生剤と、塩基により塩基が発生する塩基-塩基発生剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(化1)で表わされる分子量10000以上1000000 以下のカルボン酸重合体【化1】(式中、R1 は炭素数2〜40の有機基、nは10から20000の間の正の整数で、R2 は炭素数1〜20の有機基,水素原子,ハロゲン原子のいずれかである)を重量で全樹脂量に対して20%以上と、2級、又は/及び、3級アミンを、前記カルボン酸重合体のカルボキシル基に対して0.0〜2.0モル当量と、電磁波の照射により塩基を発生する光塩基発生剤を、前記カルボン酸重合体のカルボキシル基に対して0.01〜0.5モル当量と、塩基により塩基を発生する塩基-塩基発生剤を、前記カルボン酸重合体のカルボキシル基に対して0.1〜2.0モル当量含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/039 501 , C08K 5/17 , C08K 5/205 KAX , C08K 5/32 KBE , C08L 77/00 , C08L101/06 , C08L101/08 KAY , G03F 7/004 503 , G03F 7/038 504

FI (9件)：

G03F 7/039 501 , C08K 5/17 , C08K 5/205 KAX , C08K 5/32 KBE , C08L 77/00 , C08L101/06 , C08L101/08 KAY , G03F 7/004 503 , G03F 7/038 504

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