特許
J-GLOBAL ID：200903067674017270
石英ガラス材の不純物元素検出方法及びその実施に用いる装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-195066
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021494
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 石英ガラス材の不純物元素濃度を非破壊で高精度に定量する。【解決手段】 レーザ光源11からKrFエキシマレーザ光が石英ガラス材Sに向かって出射され、石英ガラス材Sからの蛍光を蛍光光度計13にて受光する。蛍光光度計13で検出された蛍光波長により、石英ガラス材Sに含まれる不純物元素を定性する。また、演算部12に予め入力された各不純物元素の検量線データに基づいて、蛍光光度計13から入力された蛍光強度から石英ガラス材S中の不純物元素の含有量を算出する。
請求項（抜粋）：
石英ガラス材に含まれる不純物元素を検出する方法において、検出対象の石英ガラス材に励起光を入射せしめる過程と、該石英ガラス材から発せられた蛍光を受光して蛍光強度を測定する過程と、不純物元素の含有量に対する蛍光強度の検量線に基づいて、測定された蛍光強度から前記不純物元素の含有量を算出する過程とを有することを特徴とする石英ガラス材の不純物元素検出方法。
Fターム (15件)：
2G043AA01
, 2G043BA01
, 2G043BA02
, 2G043CA05
, 2G043DA01
, 2G043EA01
, 2G043GA04
, 2G043GA21
, 2G043GB03
, 2G043JA01
, 2G043KA03
, 2G043KA09
, 2G043LA01
, 2G043NA01
, 2G043NA11
