特許

J-GLOBAL ID：200903067676643799

静電チャックからの被吸着物の離脱方法

発明者： 小倉 知之 ,  石井 守
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-096728
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299424
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 被吸着物を速やかに離脱させることのできる静電チャックからの被吸着物の離脱方法を提供すること。【解決手段】 金属-セラミックス複合材料からなる静電チャックであって、その静電チャックからの被吸着物の離脱方法が、その静電チャックに内在する電極に印加している直流電圧を遮断し、続いて印加していた電圧の40〜60%の直流電圧を極性を替えずに印加することにより、離脱させる方法であることとした静電チャックからの被吸着物の離脱方法。

請求項（抜粋）：

金属-セラミックス複合材料からなる静電チャックであって、その静電チャックからの被吸着物の離脱方法が、その静電チャックに内在する電極に印加している直流電圧を遮断し、続いてその印加していた電圧の40〜60の直流電圧を極性を替えずに印加することにより、離脱させる方法であることを特徴とする静電チャックからの被吸着物の離脱方法。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15

FI (2件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D

Fターム (7件)：

3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA17 ,  5F031HA35 ,  5F031MA32