特許

J-GLOBAL ID：200903067687717913

SF6ガス回収・精製処理装置及び方法

発明者： 玉田 慎 ,  椿 徹 ,  灘村 昭夫 ,  伊藤 浩司 ,  大井 敏夫 ,  大野 博基
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立エンジニアリングサービス ,  昭和電工株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-163715
公開番号（公開出願番号）：特開平11-009951
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、ガス絶縁機器の保守点検の際に機器の内部より回収するSF6ガスを精製し、組成を分析確認して、再度現地で再利用するSF6 ガス回収・精製処理装置及び方法を提供する。【解決手段】SF6 ガス回収・精製処理では、酸性ガス等をフィルター4,8,9により乾式で中和除去するとともに、回収タンク10へ回収しこの回収した精製後の回収SF6 ガスの組成を分析装置14により測定確認することにより、再利用の可否を定量的に確認する。

請求項（抜粋）：

ガス絶縁機器に接続された第1のフィルターと、該第1のフィルターの後流側に接続された定量供給器と、該定量供給器の後流側に並列に接続されたコンプレッサー及び真空ポンプと、該コンプレッサーの後流側に接続された回収タンクと、該回収タンクを冷却するための冷却器を備えたことを特徴とするSF6 ガス回収・精製処理装置。

IPC (3件)：

B01D 53/40 ,  C01B 17/45 ,  F17D 1/02

FI (3件)：

B01D 53/34 118 Z ,  C01B 17/45 G ,  F17D 1/02