特許
J-GLOBAL ID：200903067687828324
電鋳品の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-006036
公開番号（公開出願番号）：特開2004-217995
出願日： 2003年01月14日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：
【課題】微細なパターンが良好なまま残り、かつ硬度が高い電鋳品を製造することが可能な電鋳品の製造方法を提供する。【解決手段】シリコンウエハ上に銀メッキを施し基板1を作成する(a)。そして、その上にレジスト2を塗布する(b)。次にフォトリソグラフィ工程によりレジスト2にパターンを焼き付け、レジスト2を現像する(c)。そして、この基板1にニッケルめっきを行い、電鋳品3を製造する(d)。次に、電鋳品3を基板1から剥がし、電鋳品3を加熱することにより、電鋳品3に付着したレジストを炭化させ、その後超音波水洗により、炭化したレジストを除去する(e)。これにより、電鋳品3のパターンを傷つけたり、電鋳品3の軟化を引き起こすことなく、微細なパターンが表面に形成された電鋳品3を製造することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レジストを塗布した基板に所定のパターンを露光し、レジストを現像して型を形成し、その後当該基板に電鋳を行った後、形成された電鋳品を前記基板から剥離し、当該電鋳品に付着したレジストを除去する工程を有する電鋳品の製造方法であって、電鋳品からレジストを除去する際に、レジストの炭化処理を行ってから除去する工程を有することを特徴とする電鋳品の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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