特許

J-GLOBAL ID：200903067692281112

光学歪の評価方法および評価装置

発明者： 尊田 嘉之 ,  嶋崎 剛 ,  楜澤 信 ,  下薗 裕明
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 岩壁 冬樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-349088
公開番号（公開出願番号）：特開平11-237216
出願日： 1998年12月08日
公開日（公表日）： 1999年08月31日
要約：

【要約】【課題】 歪の種類によらず光学歪を定量的に評価することが望まれる。【解決手段】 演算装置は、参照パターンの被測定物による透視像または反射像を入力し、入力された透視像または反射像と理想的透視像との間で相関演算を行う。そして、得られた相関値にもとづいて被測定物の光学歪を評価する。

請求項（抜粋）：

被測定物の光学歪を評価する方法であって、参照パターンを前記被測定物に照射し、前記被測定物からの前記参照パターンの透視像または反射像を観測し、観測された前記透視像または反射像と理想像との相関値を算出し、算出された相関値にもとづいて前記被測定物の光学歪を評価する光学歪の評価方法。