特許
J-GLOBAL ID：200903067696673562
ワーク検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-180735
公開番号（公開出願番号）：特開平8-025181
出願日： 1994年07月08日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、移動可能なワークの有無を固定した検出器により検出し、特に高真空の環境に対応できるワーク検出装置を提供することを目的とする。【構成】 テーブル20と光電スイッチ30を備えたワーク検出装置1において、テーブル20はワーク2を載置する搭載板21と、駆動源12と連結される底板23と、搭載板21と底板23の間で遮光板22aを有する移動板22を備える。搭載板21と移動板22、及び移動板22と底板23は、撓みにより移動板22が移動されるためのバネA24a、及びバネB24bにより連結される。光電スイッチ30は、光軸31が駆動源12によるテーブル20の移動方向と平行で、かつ遮光板22aにて遮蔽可能な位置に固設される。テーブル20を真空容器10の内に形成する場合は、光電スイッチ30を真空容器10の外に固設する。
請求項（抜粋）：
ワークを搭載するためのテーブルと、前記ワークの有無を検出するための光電スイッチを備えたワーク検出装置において、前記テーブルは、ワークを載置するための搭載板と、前記テーブルの下面を形成する底板と、前記搭載板と前記底板の間に設けられ、光を透過しない材質で凸設された遮光板を有する移動板を備えるとともに、前記搭載板と前記移動板、及び前記移動板と前記底板は、前記移動板を挟んで互いに対称で、共に等しくかつ前記ワークの重量により撓み得るバネ定数を有し、前記ワークの重量による撓みにより前記移動板を所定の方向に移動させるためのバネA、及びバネBを介してそれぞれ連結され、前記光電スイッチは、その光軸を前記バネA及び前記バネBが撓んだ状態の前記遮光板により遮蔽される位置に固設されたことを特徴とするワーク検出装置。
IPC (3件)：
B23Q 17/00
, B23Q 17/24
, H01L 21/68
