特許

J-GLOBAL ID：200903067711446853

液晶表示装置およびその製造方法

発明者： 山本 英明 ,  松丸 治男 ,  河内 玄士朗 ,  阿武 恒一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-279802
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134314
出願日： 1993年11月09日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【構成】透明ガラス基板(1)上に、Ta膜(2)(またはTa合金膜)とAl合金膜(3)とから成る積層膜を形成し、前記積層膜をBCl3とCl2とを含む混合ガスを用いたドライエッチングによりパターニングし、前記積層膜の表面に選択的に陽極酸化膜(5)を形成し、陽極酸化膜(5)をマスクとして、BCl3とCl2とN2とを含む混合ガスを用いたドライエッチングによりAl合金膜(3)を除去し、画素電極部とゲート・ドレイン端子部にITO膜(6)を形成し、パターニングする構成。【効果】信号線と端子部とを一つのホトマスクを用いて形成することができるので、製造コストを安くすることができ、大画面、高精細に適し、高信頼性の端子部を有する液晶表示装置を低コストで製造することができる。

請求項（抜粋）：

第1の基板と第2の基板とを所定の間隙を隔てて重ね合わせ、前記両基板間に液晶を封止し、前記第1の基板面上には、水平方向に延在し、かつ垂直方向に複数本配置された走査信号線と、垂直方向に延在し、かつ水平方向に複数本配置された映像信号線と、隣接する2本の前記走査信号線と隣接する2本の前記映像信号線との交差領域内にそれぞれ配置されたスイッチング素子と第1の画素電極とを設け、前記第2の基板面上には前記第1の画素電極に対向して第2の画素電極を設けたアクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置において、前記信号線の少なくとも一方がTaまたはTa合金膜とその上に形成されたAlまたはAl合金膜を含んで成り、前記信号線の端子部は前記AlまたはAl合金膜が除去された前記TaまたはTa合金膜を含んで成ることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 ,  H01L 29/786

FI (2件)：

H01L 29/78 311 G ,  H01L 29/78 311 A