特許
J-GLOBAL ID：200903067716967681
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-003865
公開番号（公開出願番号）：特開平7-208972
出願日： 1994年01月19日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 走査型プローブ顕微鏡の試料の交換を容易にする。【構成】 本願発明の走査型プローブ顕微鏡は、少なくともプローブ、試料取り付け機構、プローブの微動手段または試料の微動機構からなる走査型プローブ顕微鏡において、試料の取り付け機構が少なくとも3つ非磁性体で区切られた少なくとも4つの磁性体からなる領域で構成される磁石台と、磁石台の磁性体上に近接する少なくとも1つの非磁性体で区切られた少なくとも2つの領域を有する金属板からなり、金属板の上に試料を設置するための金属からなる試料台が配置されている。
請求項（抜粋）：
少なくともプローブ、試料取り付け機構、前記プローブの微動手段または前記試料の微動機構からなる走査型プローブ顕微鏡において、該試料の取り付け機構が少なくとも3つの非磁性体で区切られた少なくとも4つの磁性体からなる領域で構成される磁石台と、該磁石台の該磁性体上に近接する少なくとも1つの非磁性体で区切られた少なくとも2つの領域を有する金属板からなり、該金属板の上に試料を設置するための金属からなる試料台が配置されていることを特徴とする顕微鏡。
IPC (4件)：
G01B 21/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
