特許
J-GLOBAL ID：200903067719202767
焦点検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-281335
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134242
出願日： 1993年11月10日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 対物レンズの種類によりレンズの有効光束径が異なってもレ-ザ光束を対物レンズの有効光束径内に合せることを可能にすることにある。【構成】 照明切換部24がリングミラ-付き遮光筒Mによる暗視野の場合、対物レンズ22が交換されると該対物レンズ22に対応するプリズム位置情報をメモリ部45から取込んでモ-タドライバ47に制御信号を与えて第1の駆動機構40を動作させ、プリズム33をレ-ザ光軸方向に移動して位置検出センサ35で検出される2点の入射光束を対物レンズ22の有効光束径内に入れ、また照明切換部24がハ-フミラ-HMによる明視野の場合には対物レンズ22に対応するプリズム位置情報に応じた制御信号をモ-タドライブ4に与えて第2の駆動機構44を動作させ、プリズム33をレ-ザ光軸と直交する方向に2点の入射光束を平行に移動させて対物レンズ22の有効光束径内に入れるようにしたものである。
請求項（抜粋）：
焦点検出用光源からのビ-ム光をプリズムに入射し、その反射光を観察光学系に交換可能に設けられた対物レンズを通して標本に投射し、この標本から前記対物レンズを介して入射される反射光を位置検出手段により受光すると共に、その入射位置を検出して合焦判定を行う焦点検出装置において、前記プリズム又は焦点検出用光源を前記対物レンズの有効光束径に合せて前記プリズムから前記観察光学系に入射する反射光の光軸方向と直交する方向に移動させる手段を設けたことを特徴とする焦点検出装置。
IPC (2件)：
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