ウエハ温度の測定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-024471
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341905
出願日： 1994年02月22日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】ウエハ22の温度を複数の点において非接触で測定する簡単な方法を得ることを目的とする。【構成】反射面39がウエハ22の表面から放出された熱放射をその表面の方に反射して戻すように、ウエハ22の表面と反射面39との間に反射キャビティ32を形成する反射部30、及び、熱放射を測定し、測定された放射を用いてウエハ22の温度を決定する放射センサを備えている。

請求項（抜粋）：

反射部の反射面が物体の表面から放出された熱放射を前記表面の方に反射して戻すように、前記物体の前記表面と前記反射面との間に反射キャビティ(cavity)を形成する反射部、及び前記熱放射を測定(sampling)し、測定された放射(sampled radiation )を用いて前記物体の温度を決定する放射センサを備えた、前記物体の前記表面の温度を測定するための装置。

IPC (3件)：

G01J 5/02 , C23C 16/00 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平3-105223
特開平2-085731
特開平2-298829

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