特許

J-GLOBAL ID：200903067720132608

塗布装置

発明者： 丑田 智樹
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-242079
公開番号（公開出願番号）：特開2003-047901
出願日： 2001年08月09日
公開日（公表日）： 2003年02月18日
要約：

【要約】【課題】 記録媒体に塗液を均一に塗布し得る塗布装置を提供する。【解決手段】 円盤状の光ディスクDを載置可能なターンテーブル2と、その中央部がターンテーブル2の中央部に位置して光ディスクDの中央部に載置される円盤状部材4とを備え、光ディスクDと円盤状部材4とを載置した状態でターンテーブル2を回転させると共に円盤状部材4の上面に塗液を滴下することにより、滴下した塗液をターンテーブル2の回転に伴う遠心力によって光ディスクDの表面にスピンコートする塗布装置1であって、円盤状部材4の上面には、その輪郭の平面視形状が円形で、かつその円周方向に沿った深さが一様に形成されて塗液を貯留可能な凹部11が形成されている。

請求項（抜粋）：

円盤状の記録媒体を載置可能なターンテーブルと、その中央部が前記ターンテーブルの中央部に位置して前記記録媒体の前記中央部に載置される円盤状部材とを備え、前記記録媒体と前記円盤状部材とを載置した状態で前記ターンテーブルを回転させると共に前記円盤状部材の上面に塗液を滴下することにより、当該滴下した塗液を当該ターンテーブルの回転に伴う遠心力によって当該記録媒体の表面にスピンコートする塗布装置であって、前記円盤状部材の上面には、その輪郭の平面視形状が円形で、かつその円周方向に沿った深さが一様に形成されて前記塗液を貯留可能な凹部が形成されている塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 11/00 ,  B05C 11/08 ,  G11B 7/26 531

FI (3件)：

B05C 11/00 ,  B05C 11/08 ,  G11B 7/26 531

Fターム (11件)：

4F042AA02 ,  4F042AA08 ,  4F042AB00 ,  4F042CA00 ,  4F042CA04 ,  4F042DF09 ,  4F042DF32 ,  4F042EB09 ,  5D121AA04 ,  5D121EE22 ,  5D121EE24